音圈马达
音圈马达-小行程、小推力、高频率
特征: ‧ 直线驱动, 零背隙,无磁滞抖动现象 ‧ 线圈少,响应快,频带宽 ‧ 运动时线圈之间不碰触(不造成破损)
音圈马达平台
特征: ‧ 直线驱动, 零背隙,无磁滞抖动现象 ‧ 行程为6.5mm 或 20mm ‧ 光栅尺分辨率100nm
连续推力continuous force:45.5N
独特优点: ‧ 响应极为快速;可应用于高加减速场合 ‧ 即使低速也能运作顺畅(低速波型) ‧ 可通过光栅尺寻找原点
上海微敏自控技术有限公司